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发明名称 METHOD OF PRODUCING EPITAXIAL LAYERS OF SILICON
摘要
申请公布号 SU1604870(A1) 申请公布日期 1990.11.07
申请号 SU19884479371 申请日期 1988.05.30
申请人 NOVOCHERKASSKIJ POLT I IM.SERGO ORDZHONIKIDZE 发明人 KRYZHANOVSKIJ VIKTOR P,SU;BALYUK ALEKSANDR V,SU;YUREV VIKTOR A,SU;OVCHARENKO ALEKSANDR N,SU;LOZOVSKIJ VLADIMIR N,SU;KOVALEV NIKOLAJ M,SU
分类号 C30B19/00;C30B29/06 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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