发明名称 ANORDNUNG ZUR VORPOSITIONIERUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD284305(A5) 申请公布日期 1990.11.07
申请号 DD19890328803 申请日期 1989.05.22
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DD 发明人 ZIEGE,ANDREAS,DD;ROSSMANN,ANDREAS,DD;RICHTER,ROMIN,DD;KUNZ,ADOLF,DD
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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