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发明名称
ANORDNUNG ZUR VORPOSITIONIERUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号
DD284305(A5)
申请公布日期
1990.11.07
申请号
DD19890328803
申请日期
1989.05.22
申请人
VEB CARL ZEISS JENA,DD
发明人
ZIEGE,ANDREAS,DD;ROSSMANN,ANDREAS,DD;RICHTER,ROMIN,DD;KUNZ,ADOLF,DD
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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