发明名称 METHOD FOR MAKING SEMICONDUCTOR DEVICES COMPRISING INSULATING REGIONS
摘要
申请公布号 EP0197454(A3) 申请公布日期 1990.11.07
申请号 EP19860104272 申请日期 1986.03.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 TAKEBAYASHI, KOJI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/762;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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