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发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH02273449(A) 申请公布日期 1990.11.07
申请号 JP19890094553 申请日期 1989.04.13
申请人 NEC CORP 发明人 NAKAJIMA JUNICHIRO
分类号 H01J37/244 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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