Micromechanical capacitive acceleration sensor.

摘要

Die Erfindung betrifft einen kapazitiv arbeitenden und nach mikromechanischer Fertigungstechnologie hergestellten Beschleunigungssensor. Er ist ueberall dort anwendbar, wo Beschleunigungen an Maschinen, Geraeten und Bauteilen ermittelt und daraus Steuerfunktionen abgeleitet werden muessen. Aufgabe der Erfindung ist es, einen Beschleunigungssensor zu schaffen, mit dem eine schnelle Eindeutigkeit der Nullstellung erreicht wird, der eine minimale Schwingungsneigung aufweist und der sich durch hohe Empfindlichkeit und Richtungsstabilitaet auszeichnet. Der erfindungsgemaesse Beschleunigungssensor besteht aus einem Anschlagdeckel (1), der einseitig symmetrisch eine Vertiefung besitzt, in der Erhoehungen (1a) vorhanden sind, einem Federteil, das beidseitig ganz oder teilweise mit einer elektrisch leitfaehigen Schicht versehen ist und aus Rahmen (2c), Federn (2a) und seismischer Masse (2b) besteht, wobei jede Feder (2a) die Form eines Polygonzuges hat, dessen Strecken sich gegenseitig weder beruehren noch schneiden und stets den gleichen Drehsinn beibehalten, wobei mittig des Federteils eine seismische Masse (2b) angeordnet ist, die bezueglich ihres Masseschwerpunktes an mindestens 2 Federn (2a) aufgehaengt ist und einem Elektrodendeckel (3), der einseitig symmetrisch mit einer Festelektrode (4), die mit einer elektrisch nicht leitfaehigen Schicht (5) abgedeckt ist, versehen ist.