DETECTOR ASSEMBLY WITH DETECTOR OBJECTIVE FOR CORPUSCULAR RAY INSTRUMENTS,申请号EP19870117231-传众专利搜索

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发明名称	DETECTOR ASSEMBLY WITH DETECTOR OBJECTIVE FOR CORPUSCULAR RAY INSTRUMENTS
摘要
申请公布号	EP0274622(B1)	申请公布日期	1990.11.07
申请号	EP19870117231	申请日期	1987.11.23
申请人	ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH	发明人	FEUERBAUM, HANS-PETER, DR. ING.;FROSIEN, JUERGEN, DR. ING.
分类号	H01J37/141;G01Q30/02;H01J37/10;H01J37/145;H01J37/244	主分类号	H01J37/141
代理机构		代理人
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