发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02271671(A) 申请公布日期 1990.11.06
申请号 JP19890093565 申请日期 1989.04.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HOSODA TSUTOMU
分类号 H01L27/08;H01L21/28;H01L29/417;H01L29/43 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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