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发明名称 RESIST COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02271519(A) 申请公布日期 1990.11.06
申请号 JP19890093816 申请日期 1989.04.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MATSUDA HIDEYUKI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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