| 发明名称 |
Target used for formation of superconductive oxide film, process of producing thereof, and process of forming superconductive oxide film on substrate using the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4968665(A) |
申请公布日期 |
1990.11.06 |
| 申请号 |
US19890363010 |
申请日期 |
1989.06.08 |
| 申请人 |
MITSUBISHI METAL CORPORATION |
发明人 |
OHUCHI, YUKIHIRO;SUGIHARA, TADASHI;TAKESHITA, TAKUO |
| 分类号 |
C04B41/87;C01G1/00;C01G3/00;C04B35/00;C04B35/45;C23C14/08;C23C14/34;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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