| 发明名称 |
CONTROLLING METHOD OF ELECTROSTRICTIVE ACTUATOR FOR STM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02271203(A) |
申请公布日期 |
1990.11.06 |
| 申请号 |
JP19890091884 |
申请日期 |
1989.04.13 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
SUYAMA TATSUYUKI;YAMAZAKI SHUICHI;TANEMOTO HIROSHI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01Q10/04;G01Q60/10;H01J37/28;H01L41/09 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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