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经营范围
发明名称
VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02271521(A)
申请公布日期
1990.11.06
申请号
JP19890092571
申请日期
1989.04.12
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
OTAKI KANAME
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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