| 发明名称 |
Method for manufacturing and handling thin wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4967461(A) |
申请公布日期 |
1990.11.06 |
| 申请号 |
US19890386715 |
申请日期 |
1989.07.31 |
| 申请人 |
GMN GEORG MULLER NURNBERG AG |
发明人 |
FELDMEIER, FRITZ |
| 分类号 |
B24B27/06;B23P23/02;B24B7/16;B24B7/22;B28D1/00;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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