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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02271619(A) 申请公布日期 1990.11.06
申请号 JP19890094109 申请日期 1989.04.13
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YANAI MASAHARU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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