发明名称 EXHAUST DEVICE BY TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH02271098(A) 申请公布日期 1990.11.06
申请号 JP19890044876 申请日期 1989.02.23
申请人 JEOL LTD 发明人 ANDO ICHIRO
分类号 F04D19/04;B01J3/02 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
地址