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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH02271612(A)
申请公布日期
1990.11.06
申请号
JP19890093705
申请日期
1989.04.13
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TANAKA EISUKE
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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