| 发明名称 |
Versatile reactive ion etch barriers from polyamic acid salts |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4968552(A) |
申请公布日期 |
1990.11.06 |
| 申请号 |
US19890421219 |
申请日期 |
1989.10.13 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
LINDE, HAROLD G. |
| 分类号 |
G03F7/26;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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