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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02270332(A) 申请公布日期 1990.11.05
申请号 JP19890091512 申请日期 1989.04.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 MORI KAZUTAKA
分类号 H01L29/73;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/331;H01L29/161;H01L29/732;H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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