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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02270344(A) 申请公布日期 1990.11.05
申请号 JP19890091086 申请日期 1989.04.11
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 MATSUZAKI KAZUO
分类号 H01L21/762;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/76;H01L29/78 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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