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发明名称 PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02268866(A) 申请公布日期 1990.11.02
申请号 JP19890090351 申请日期 1989.04.10
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TERU KYUSHU KK 发明人 YAMAHIRA YUTAKA;TAJIMA TOMOHAYA
分类号 F24F13/14;B05C11/08;B05C15/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 F24F13/14
代理机构 代理人
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