MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19890090001-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH02268437(A)	申请公布日期	1990.11.02
申请号	JP19890090001	申请日期	1989.04.10
申请人	NEC CORP	发明人	ICHIKAWA SEIJI
分类号	H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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