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经营范围
发明名称
XY STAGE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02269532(A)
申请公布日期
1990.11.02
申请号
JP19890086652
申请日期
1989.04.05
申请人
TOSHIBA MACH CO LTD
发明人
WATANABE HIROYA
分类号
B23Q1/00;B23Q1/62;B23Q1/72
主分类号
B23Q1/00
代理机构
代理人
主权项
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