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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02268442(A) 申请公布日期 1990.11.02
申请号 JP19890089834 申请日期 1989.04.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NISHIWAKI TORU
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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