| 发明名称 |
MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02267945(A) |
申请公布日期 |
1990.11.01 |
| 申请号 |
JP19890087902 |
申请日期 |
1989.04.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YANOKURA EIJI;MORI MITSUHIRO;TAKAHASHI SUSUMU |
| 分类号 |
H01L29/812;H01L21/285;H01L21/338 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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