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经营范围
发明名称
PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH02267292(A)
申请公布日期
1990.11.01
申请号
JP19890088947
申请日期
1989.04.06
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUI SHINJI
分类号
C04B41/91;C01G1/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C04B41/91
代理机构
代理人
主权项
地址
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