发明名称 MANUFACTURE OF MIS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02267943(A) 申请公布日期 1990.11.01
申请号 JP19890088400 申请日期 1989.04.08
申请人 NEC CORP 发明人 NOGUCHI KOU
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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