| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET AFBEELDEN VAN EEN MASKERPATROON OP EEN SUBSTRAAT VOORZIEN VAN EEN OPTO-ELEKTRONISCH DETEKTIESTELSEL VOOR HET BEPALEN VAN EEN AFWIJKING TUSSEN HET BEELDVLAK VAN EEN PROJEKTIELENZENSTELSEL EN HET SUBSTRAATVLAK. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL186353(C) |
申请公布日期 |
1990.11.01 |
| 申请号 |
NL19790004579 |
申请日期 |
1979.06.12 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
DR. STEFAN WITTEKOEK TE BERGEIJK;THEODORUS ADOLPHUS FAHNER TE EINDHOVEN. |
| 分类号 |
H01L21/30;G02B7/28;G02B7/32;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/70;G01B11/14;G03B13/28 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
