GERAET ZUR REAKTIVEN IONENAETZUNG UND -BESCHICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DESSELBEN.,申请号DE19863674501-传众专利搜索

发明名称	GERAET ZUR REAKTIVEN IONENAETZUNG UND -BESCHICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DESSELBEN.
摘要
申请公布号	DE3674501(D1)	申请公布日期	1990.10.31
申请号	DE19863674501	申请日期	1986.07.28
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	BUMBLE, BRUCE, CROTON-ON-HUDSON NEW YORK 10520, US;CUOMO, JEROME JOHN, LAKE LINCOLNDALE NEW YORK 10540, US;LOGAN, JOSEPH SKINNER, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12603, US;ROSSNAGEL, STEVEN MARK, WHITE PLAINS NEW YORK 10603, US
分类号	H05K3/08;C23C14/34;C23F1/04;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H05K3/08
代理机构		代理人
主权项
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