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发明名称 FORMING METHOD OF ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02266518(A) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 JP19890087629 申请日期 1989.04.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TARA KATSUJI
分类号 H01L29/812;H01L21/285;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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