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发明名称 TEILCHENERFASSER FUER WAFERBEARBEITUNGSGERAET UND VERFAHREN ZUR ERFASSUNG EINES TEILCHENS.
摘要
申请公布号 DE3674576(D1) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 DE19863674576 申请日期 1986.12.08
申请人 HIGH YIELD TECHNOLOGY, MOUNTAIN VIEW, CALIF., US 发明人 BORDEN, PETER, PALO ALTO, CA 94306, US
分类号 G01N15/02;G01N21/51;G01N21/53;(IPC1-7):G01N15/02;G01N15/10;G01N21/47 主分类号 G01N15/02
代理机构 代理人
主权项
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