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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ISOLATIONSGRAEBEN IN INTEGRIERTEN SCHALTUNGSANORDNUNGEN.
摘要
申请公布号 DE3483309(D1) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 DE19843483309 申请日期 1984.11.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 GOTH, GEORGE RICHARD;HANSEN, THOMAS ADRIAN;VILLETTO, JR., ROBERT THOMAS, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12603, US
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/308;H01L21/306 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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