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发明名称
SPUTTERING INSTALLATION FOR REACTIVE COATING OF A SUBSTRATE WITH HARD MATERIALS
摘要
申请公布号
EP0211057(B1)
申请公布日期
1990.10.31
申请号
EP19860901066
申请日期
1986.01.31
申请人
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
HERKLOTZ, GUENTHER;ELIGEHAUSEN, HANS
分类号
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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