发明名称 ARRANGEMENT METHOD FOR INTEGRATED CIRCUIT ELEMENT IN INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02266546(A) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 JP19890088297 申请日期 1989.04.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAHASHI KAZUHIRO
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82;G06F15/60 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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