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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATES IN EINEM PLASMA
摘要
申请公布号 DE3913716(A1) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 DE19893913716 申请日期 1989.04.26
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 8000 MUENCHEN, DE 发明人 ZELLER, ROLF, DIPL.-PHYS., 7801 UMKIRCH, DE
分类号 C23C14/00;C23C14/32;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/517;H01J37/32 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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