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发明名称 PROCESS FOR MAKING A PATTERN
摘要
申请公布号 EP0371924(A3) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 EP19890810888 申请日期 1989.11.21
申请人 CIBA-GEIGY AG 发明人 BANKS, CHRISTOPHER PAUL, DR.;IRVING, EDWARD, DR.
分类号 G03F7/027;C08G59/00;C08G59/14;C08G59/18;C08G59/20;C08G59/28;C23F1/00;G03F7/038;G03F7/16;H05K3/06;H05K3/28;(IPC1-7):H05K3/34;G03F7/00;G03F7/11 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
主权项
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