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发明名称 POLYMERIC MATERIALS AND THEIR USE AS RESISTS
摘要
申请公布号 EP0276108(A3) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 EP19880300369 申请日期 1988.01.18
申请人 NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION 发明人 AFFROSSMAN, STANLEY;BAKHSHAEE, MASSOUD;PETHRICK, RICHARD ARTHUR;SHERRINGTON, DAVID COLIN
分类号 G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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