发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5492534(A) 申请公布日期 1979.07.21
申请号 JP19770160709 申请日期 1977.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KUDOU DAIJIROU
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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