发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5498582(A) |
申请公布日期 |
1979.08.03 |
申请号 |
JP19780005584 |
申请日期 |
1978.01.20 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAKAGAWA TSUTOMU;ABE JIROU |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/36;H01L29/74 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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