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发明名称 VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG VON PLASMA-AETZVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE3914065(A1) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 DE19893914065 申请日期 1989.04.28
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 GRUENWALD, HEINRICH, DR., 7413 GOMARINGEN, DE;RAMISCH, HANS, 6230 FRANKFURT, DE;PAWLAKOWITSCH, ANTON, DR., 8755 ALZENAU, DE
分类号 H01J37/32;H01L21/00 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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