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发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH02267192(A) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 JP19890089209 申请日期 1989.04.08
申请人 MITSUBISHI MONSANTO CHEM CO;MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 KATANO CHIKU;HIGUCHI YUSAKU;KAWABATA SHINICHIRO;ORITO FUMIO;YAJIMA FUMIKAZU
分类号 C30B27/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
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