发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02265245(A) 申请公布日期 1990.10.30
申请号 JP19890087279 申请日期 1989.04.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOSHIKI JUN;ICHIKAWA MASAAKI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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