发明名称 MANUFACTURE OF MOS-TYPE TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH02265248(A) 申请公布日期 1990.10.30
申请号 JP19890085691 申请日期 1989.04.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KURIYAMA HIROKO
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/62;H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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