发明名称 Crystal growth method and apparatus
摘要
申请公布号 US4966645(A) 申请公布日期 1990.10.30
申请号 US19890445522 申请日期 1989.12.04
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 SHAHID, MUHAMMED A.
分类号 C30B29/40;C30B11/00;C30B11/14;C30B29/48;H01L21/208 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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