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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02265285(A) 申请公布日期 1990.10.30
申请号 JP19890087401 申请日期 1989.04.06
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKAMURA TAKASHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/285;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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