发明名称 METHOD OF FORMING FILMS OF METALLIC GERMANIUM
摘要
申请公布号 SU1311535(A1) 申请公布日期 1990.10.30
申请号 SU19853930501 申请日期 1985.07.18
申请人 KZ FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I KZ FILIALA AN SSSR 发明人 ZAKIROV G.G.,SU;KHAJBULLIN I.B.,SU
分类号 H01L21/265;H01L21/28 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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