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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE OF MASTER SLICE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH02264454(A) 申请公布日期 1990.10.29
申请号 JP19890085936 申请日期 1989.04.05
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MIZUNO MASAO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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