| 发明名称 |
SILICON SUBSTRATE HAVING DIAMOND SINGLE CRYSTALLINE FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02263789(A) |
申请公布日期 |
1990.10.26 |
| 申请号 |
JP19890083226 |
申请日期 |
1989.03.31 |
| 申请人 |
KANAGAWA PREF GOV |
发明人 |
KARASAWA SHIRO;KOBAYASHI MASARU;WATANABE TAKESHI;HIRABAYASHI YASUO |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/04;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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