发明名称 HANDOTAIKAKUSANRONOKOSEIBUZAINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPH0248511(B2) 申请公布日期 1990.10.25
申请号 JP19850142498 申请日期 1985.07.01
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO 发明人 TAMAMIZU TERUYASU;SAKAI YUKIFUMI;TASHIRO HIROSHI
分类号 H01L21/22;C04B35/56;C04B35/565;C04B35/573 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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