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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02262340(A) 申请公布日期 1990.10.25
申请号 JP19890081438 申请日期 1989.04.03
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOGA TERUHIDE
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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