发明名称 TROCKENWICKELBARES RESISTSYSTEM
摘要
申请公布号 DE3913434(A1) 申请公布日期 1990.10.25
申请号 DE19893913434 申请日期 1989.04.24
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 SEZI, RECAI, DR., 8551 ROETTENBACH, DE;LEUSCHNER, RAINER, DR., 8521 GROSSENSEEBACH, DE;SEBALD, MICHAEL, DR., 8521 HESSDORF, DE;BIRKLE, SIEGFRIED, DR., 8552 HOECHSTADT, DE;AHNE, HELLMUT, DR., 8551 ROETTENBACH, DE
分类号 G03F7/022;G03F7/075;G03F7/26;G03F7/30;G03F7/38;H01L21/027 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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