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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02262337(A)
申请公布日期
1990.10.25
申请号
JP19890083570
申请日期
1989.03.31
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KATADA TOMIO;SUGURO KYOICHI
分类号
H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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